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ICT测试过炉治具测量值高的原因技术

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ICT测试过炉治具测量值高的原因技术

发布日期:2015-11-04 00:00 来源:http://www.dghemeng.com 点击:

   尽管在最先进的有助于解决超薄栅介质层的渗漏问题,ICT测试过炉治具加工的高k材料的使用,但没有免费的午餐,其次是许多必须解决的技术问题,其中之一是问题的瞬态电荷俘获。

   此外,电荷俘获也会影响设备的ICT测试过炉治具测试参数退化的测量,这是因为大多数观察到的退化现象是由薄膜中的电荷俘获造成的,但ICT测试过炉治具装置参数观察变性的实际情况。

   当栅极偏置的状态,短暂的电荷俘获发生并导致Vt漂移,在ICT测试过炉治具测量通道的载流子迁移率,而且电荷俘获问题,过炉治具漏电流减小载波引起的流动性的测量有偏差的原因。

   电荷俘获问题是短暂的;也就是说效果和时间之间的关系是非常强的,传统的直流方法不会和这个问题密切相关,目前被广泛用于研究暂态电荷俘获激发脉冲在ICT测试过炉治具,较短的脉冲宽度,电荷俘获现象将大大减弱,因此,ICT测试过炉治具下测量值高的条件下测得的。

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